AE Pinnacle 20kW 等離子直流濺射電源，為半導(dǎo)體磁控濺射工藝專用大功率DC脈沖電源，額定輸出功率20kW，機(jī)架式3U結(jié)構(gòu)，風(fēng)冷散熱；輸出電壓范圍400~1000V，支持連續(xù)直流與脈沖DC輸出；具備高速電弧檢測(cè)與抑制功能，低儲(chǔ)能設(shè)計(jì)，有效保護(hù)靶材；支持以太網(wǎng)、RS232等多種通訊接口，可與真空鍍膜設(shè)備PLC系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)集成；具備過壓、過流、過熱、短路硬件保護(hù)，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、光伏材料真空濺射沉積工藝。

AE Pinnacle III 20kW（MN:31502411-365A，零件號(hào)0190-61053-02）完整參數(shù)表

AE Pinnacle III 20kW（MN:31502411-365A，零件號(hào)0190-61053-02）完整參數(shù)表

Advanced Energy（AE）Pinnacle III 20kW 磁控濺射等離子直流/脈沖DC電源，AMAT應(yīng)用材料鍍膜機(jī)配套電源

電氣參數(shù)

項(xiàng)目 規(guī)格 

額定輸出功率 20kW 

輸出模式 連續(xù)DC直流 / Pulsed DC脈沖直流（反應(yīng)濺射專用，抑制靶材起弧） 

輸出電壓范圍 400V ~ 1000V DC 

最大輸出電流 20A @1000V 

輸入供電 三相AC，可選208 / 400 / 440 / 480VAC 

冷卻方式 風(fēng)冷 Air Cooling 

電弧抑制 高速電弧檢測(cè)+快速切斷，低儲(chǔ)能設(shè)計(jì)，瞬間滅弧保護(hù)靶材 

機(jī)械規(guī)格

• 機(jī)箱規(guī)格：標(biāo)準(zhǔn)3U全機(jī)架安裝

• 重量：約32kg

• 前面板：顯示屏，可監(jiān)控功率/電壓/電流/故障代碼，本地參數(shù)設(shè)置

通訊與控制

1. 數(shù)字接口：以太網(wǎng)LAN、RS232/RS485，支持LXI，PLC上位機(jī)自動(dòng)化控制

2. 模擬控制：0~10V模擬量設(shè)定與監(jiān)測(cè)

3. 遠(yuǎn)程I/O：數(shù)字聯(lián)鎖、急停、運(yùn)行/故障信號(hào)，適配真空腔體安全聯(lián)鎖

內(nèi)置保護(hù)功能

• OVP過壓保護(hù)、OCP過流保護(hù)、OTP過熱保護(hù)

• 輸出短路保護(hù)、腔體電弧保護(hù)、硬件安全聯(lián)鎖

• 故障鎖存報(bào)警，面板故障代碼顯示

應(yīng)用場景

半導(dǎo)體晶圓鍍膜、光學(xué)薄膜、光伏電池、玻璃基板磁控濺射、反應(yīng)濺射介質(zhì)膜沉積，配套AMAT真空濺射設(shè)備（圖中標(biāo)簽帶應(yīng)用材料AMAT物料編碼）

本設(shè)備為AE Pinnacle III系列20kW大功率磁控濺射等離子電源，支持連續(xù)直流與脈沖DC雙輸出模式，輸出電壓400~1000V，最大輸出電流20A；三相交流輸入，風(fēng)冷散熱，標(biāo)準(zhǔn)3U機(jī)架式結(jié)構(gòu)；內(nèi)置高速電弧檢測(cè)抑制電路，低儲(chǔ)能設(shè)計(jì)，有效抑制濺射靶材打火；支持LAN、RS232/485數(shù)字通訊以及0~10V模擬程控，具備安全聯(lián)鎖接口；硬件集成過壓、過流、過熱、短路保護(hù)；前面板帶本地顯示與操作，可實(shí)時(shí)監(jiān)控功率、電壓、電流，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、光伏材料磁控濺射真空沉積工藝。